CMP抛光硬垫

时间：2026-09-13 23:07:00 浏览：952次

CMP抛光硬垫

CMP抛光硬垫是半导体制造中化学机械抛光（CMP）工艺的关键部件，负责输送和容纳抛光液，其表面制作有凹型沟槽。该产品通常与软抛光垫搭配使用。

在抛光垫技术方面，部分国内供应商有所布局，能够提供CMP抛光硬垫、软垫等系列产品。行业内存在多家供应商提供相关产品。

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