电子束检测

时间：2026-10-01 09:38:00 浏览：981次

电子束检测

电子束检测（Electrons Beam inspection，简称E-beam inspection、EBI），用于半导体元件的缺陷(defects)检验，以电性缺陷(Electrical defects)为主，形状缺陷(Physical defects)次之。

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