ISO 14644

ISO 14644

ISO 14644是由国际标准化组织(ISO)制定的洁净室及相关受控环境空气悬浮粒子控制技术标准系列。该标准系列不仅包括洁净度分级(ISO 14644-1),还涵盖监测协议(ISO 14644-2)、测试方法(ISO 14644-3)以及洁净室设计、建造和运行要求等多个部分 ,已被多国转化为国家标准 。ISO 14644-1根据允许的空气颗粒浓度将洁净室从ISO 1级(最严格)分为ISO 9级 。该洁净度标准适用于微电子、制药、航天等需高洁净环境的行业,数字越小代表洁净度越高 。

ISO 14644-1在2024年发布了新版 。此外,ISO 14644-5:2004已被取消,新版本ISO 14644-5:2025可用 。2024年1月29日,ISO/TC209/WG16召开了第一次工作组会议,讨论ISO 14644-19草案 。

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