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曝光(光刻工艺中使用的曝光技术)

时间:2026-11-14 08:17:00 浏览:997次

曝光(光刻工艺中使用的曝光技术)

曝光是利用光照将掩模版上的图形经过光学系统后投影到光刻胶上,实现图形转移,是集成电路制造中光刻工艺的重要工序之一。

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标签:曝光(光刻工艺中使用的曝光技术),曝光

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